一种精密平台的柔性铰链设计和有限元验证
随着纳米技术的兴起及快速发展,精密平台这种能够提供定位精度的微位移工作台,应用于精密检测、加工以及微操作系统当中。精密平台由驱动装置和驱动机构两部分组成。驱动装置采用压电陶瓷驱动器(PZT),PZT控制简单,且分辨率,响应速度快。驱动机构采用柔性铰链,利用金属薄弱环节的可恢复弹性变形,是一种分辨率的驱动机构。柔性铰链的结构形式和尺寸参数直接决定了精密平台的工作性能,并且对平台的应力和耦合位移产生较大影响。


随着纳米技术的兴起及快速发展,精密平台这种能够提供定位精度的微位移工作台,应用于精密检测、加工以及微操作系统当中。精密平台由驱动装置和驱动机构两部分组成。驱动装置采用压电陶瓷驱动器(PZT),PZT控制简单,且分辨率,响应速度快。驱动机构采用柔性铰链,利用金属薄弱环节的可恢复弹性变形,是一种分辨率的驱动机构。柔性铰链的结构形式和尺寸参数直接决定了精密平台的工作性能,并且对平台的应力和耦合位移产生较大影响。