行星齿轮驱动装置的重量，一般情况下正比于齿轮的重量，而齿轮的重量与其材料和热处理硬度有很大关系。所以针对行星齿轮减速电机的结构特点和齿轮的载荷性质，应该采用硬齿面齿轮。获得硬齿面齿轮的热处理方法很多，如表面淬火，整体淬火、渗碳淬火、渗氮等，应根据行星齿轮减速电机的特点考虑选定。

1、外表调质 比较普遍的单单从外观退火办法有频退火（对小宽度伞齿轴）和蓝色火焰退火（对大宽度伞齿轴）二种。单单从外观退火的淬硬层以及齿皮部部时，其效率好。 2、渗碳高频淬火 渗碳调质伞齿轮具对的具备力，但必要应用精激光加工程序（磨齿）来解除感应加热变行，以精准度。 渗碳高频淬火在轮齿微弯困乏抗压强度各方面的效果除使心部氏硬度进而提外，还重要有表面上的的残留物压热载荷，它更易轮齿拉热载荷区的热载荷减低。故此磨齿时并不能磨齿跟部分，滚齿时不用留磨量滚刀。 3、渗氮 通过渗氮可轮齿在弯曲的因素制定到很的齿面对抗强度和抗磨损性，热治疗后也可以再对其进行后的精加工制作，提了具备专业能力。这对难以磨齿的内蜗轮认为，包括特殊性有何意义。 4、相啮合齿轮传动的光洁度组合式

当大、小齿轮均为软齿面时，小齿轮的齿面硬度应于大齿轮。而当两轮均为硬齿面且硬度较时，则取两轮硬度相同。选择好的行星齿轮减速电机材料，有利于提齿轮减速电机的承载力及使用寿命